SMART Pulser

Smart series High voltage pulse power supply는 고 정밀 DC 전원과 고속 반도체 switch를 이용하여 1~ 10kHz의 구형파 전압을 출력함 으로써 E-Gun Pulser 및 Pulse plasma 전원으로 이용된다. 그리고 소형 Klystron,Thyratron,Magnetron등의 Gun pulse 전원으로도 사용되어지며, 반도체 공정의 Wafer Plasma doping용 pulse 전원으로 사용된다. 또한 출력 구형파 전압의 Time Jitter가 작아 동기형 Modulator 전원으로 가장 적합하다. 또한 Load에서 발생되는 Spark에도 전원 장치와 반도체 스위치를 보호할 수 있는 강력한 보호 기능을 갖추고 있어서 신뢰성 높은 고품질의 펄스전원을 공급할 수 있다.
모델명 SMT-PPS-XXYY
입력정격 용량 15.0 [kVA]
전압 3상 208, 단상 208[V]
주파수 60 [ Hz ]
출력정격 전압 100~xx,000 [V]
전류 Y.Y [A] Max
Voltage stability 정격전압의 ±0.1% (주)1
제어기능 펄스전압 설정정도 1 [V]
주파수 설정정도 1 [ Hz ]
출력 Pulse 폭 1-150 [μ Sec]
펄스폭 설정정도 1 [μS]
Pulse Rise time 500 [nS] 이내
Pulse Fall time 500 [nS] 이내
표시 장치 LCD
통신 방식 RS-232
운전 모드 Local /Remote
보호기능 보호 기능 과전류, 과전압, 과열
냉각 방식 공냉식
부하 spark Spark 보호회로